“他们怎么可能有这么精密的光学镜片？”
“还有他们是如何解决光学系统的协同问题？”
要知道，euv光刻机的极紫外光源可不仅仅是饱含一个光源，还需要适配的激光系统。
euv激光系统由大约 45万个零件组成，重约 17吨。
为了确保这些零件正确组装，仅检查标准就多达 1000多条，这还不包括模块和子模块额外的预检标准。
从种子光发生器到锡珠有 500多米的光路，这对所有零部件都提出了非常苛刻的要求，尤其是系统中包含的 400多个光学元器件。
一旦里边的零件搭配或者参数不当，随时可能发生数据偏差，导致芯片可能不能如期望的性能被生产出来。
而这些光学元器件只有汉斯猫的通快和蔡思才能做到。
其中蔡思主要提供相关的镜片，而通快则将其激光系统设计并制造出来。
这不是一件容易的事情。
要不然怎么说这极紫外光源是euv光刻机的三大核心部分之一。
这得需要长久的打磨和技术为基础。
之前他们以为这群兔子似乎实现了光刻机的euv光源及其激光系统是开玩笑的，没想到却是真的。
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那么这意味着他们为兔子铸造的半导体的壁垒被挖出来一个缺口。
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