185光刻机终成
会议结束后，张冲志来到余向东经理的办公室，余向东惊喜的问张冲志：“张总监真能生产反射镜片？它的难度太大了！”
张冲志说：“5纳米的反射境片我在春节后就造好了，等我再精磨以下，让公司镀上钼和硅反射膜就可以使用了。
不过对于钼硅反射膜我可以再优化一下，可以减少10%的对极紫外光线的吸收，这样我们研发的二氧化碳激光光源，只要能达到110W功率，就绰绰有余了！这样还可以节约三分之一的光源制造成本。”
余向东一下抱住他说：“你真是神人也！夏盛要为你记一大功！国家要给你记一大功！那我们为什么不全部生产2纳米光刻机？”
张冲志说：“主要是那两台光刻机已达不到2纳米的要求了，再者我们的XS9000芯片性能优异，还不到淘状的时候。
我们2纳米的芯片是一枚核弹，只有关键时刻将它点燃才能发挥巨大的作用，这里面不仅有经济作用，更有政治作用！这事你有时间向尹总说一说，我这就去忙了。”
说完转身向往就走，就知他刚一出门，就被笑眯眯的尹总堵住了。
张冲志忙叫：“尹总好！你怎么来了？”
尹总边推着他重新进屋，边说道:“你是不是对小娜做了什么事，想躲我是不？回来也不向我汇报情况。”
张冲志马上一头黑线，他忙说：“尹总我只是替你去看了一下小娜，她很好，将你的问候送到我就走了。”
尹总满脸不信，他说：“小娜三天前回来了，一见我别的不问先打听你的事，而且不停将你的名字挂在嘴边，说你如何厉害。
我这七八十岁老头子的身体一点也不关心一下，想来我就气，正好找你问问。你老实交待，不可隐瞒！”
嘴角抽了两抽，尊重长辈是轩辕美德，张冲志只好将大体的经过又说了一遍，尹总听完点了点头，这才放过他。
余向东和张冲志又将刚才的话向尹总汇报了一遍，让尹总非常高兴：“我们夏为这架破机器已经快完全修复好了，当换上心脏(芯片)时，一定窜的更高，一览众山小的感觉令人期待啊！”
张冲志将优化好的技术拿了出来，绕过专利壁垒，就带领攻关小组开始工作。
反射镜的镜面加工精度要求是0.3纳米，而一个原子的大小接近0.1纳米，也就是说加工层要在三到四层原子之内。
现在真没有什么机械的加工精度达到这样的精度，利用精密机械加工到一定精度后，可以再利用精磨人工打磨，不过失败率很高，因此一年兰斯麦超浸润光刻机只能生产几十台，这个难度实在是高。
据说兰斯麦的镜片生产公司是蔡司公司，而蔡司生产镜片的人是一个家族，三代都靠这门手艺吃饭，他们吃完饭后的工作就是磨各种镜面。
这个工作对张冲志来说虽说有点难度，但还在他的控制精度之内。
另外他还有黑星，黑星利用探索丝可以上下左右每时每刻测绘镜面的尺寸。
现在世界上最高的测绘记录是由长岛国的冷冻电镜创造的，可以达到0.02纳米的尺度。
现在黑星的探索丝通过这台冷冻电子通道显微镜的校准，测量精度已在0.01纳米，这一精度与原子核尺寸相比还差的远，还有三个数量级。
而且黑星可以通过立体放大，将三十厘米大小的镜面放大到上千平方米大小，张冲志相信可以通过黑星，通过一定的练习，精准控制自己的力度。
他全身机能所能达到的准确率是蔡司公司老师傅的十倍以上，足可生产出更精密的镜片。
由于张冲志的神经反应速度超过人类的40倍，这让他的手法快速，他与黑星待在一个密闭的恒温恒湿无尘的千平大房间内，用了一天的时间。
最后完成了十五套165块5纳米光刻机所用的镜片，也就是布拉格反射器，当然也出了五套废品。
这套加工手法与超级福岗的光感器加工工艺差不多。
而2纳米以后的超级浸润式设备与5纳米的不一样，5纳米是采用NA=0.33的曝光设备。
2纳米需要高解析度的曝光设备，更高的NA化，即NA=0.55（NA是数值孔径，与最大的临界角度有关）。
张冲志又利用一晚上的时间生产了十二套2纳米反射镜片，不过合格的只有七套，废了五套，对于一般人来说，可能合格率达不到百分之一。
NA=0.55的曝光设备，兰斯麦已有设计，不过技术要求太高，需要几年后才能生产出来，张冲志只是将它优化了一下，直接拿来用了，还美其名曰先用先得。
第二天，张冲志就先拿了两套报废的镜片，让攻关小组进行镀钼硅膜实验，测试能够达到的效果。
这种膜经过改良后，真将光能的吸吸率降低了10%，让攻关小组一阵欢腾，因为这可是与奖金挂勾的。
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