为了这一个光刻机的光源系统，陈阳以及龙科院的众人可没少花心思。
为了能够更好的滤除其他波长的光，先是研究了一种全新的材料，这种材料是一种掺杂各类化合物的玻璃，这种玻璃一来是可以吸收除了特定波长以外的光。还能将当中的四散的13.5nm的光汇聚在一起。
这种玻璃制备的透镜相比于EUV多层膜反射镜对于制备和加工的工艺要求更低，而且不会因为等离子的体的冲击产生碎屑，从而导致汇聚光源出问题。
为了这一个材料，陈阳和龙科院的诸多科学家根据阳神AI研究的数百种可能的材料，从中进行不断筛选，随后为了这一个材料的制造，也没少耗费心血。
毕竟需要将那些化合物以特定的方式掺杂到当中，这跟制造半导体差不多，但是半导体的材料参数和基底跟这一个是完全不同的，因此只能不断进行调整，进行各种改进方式。
阳神AI可以提前帮助人们研究某一种究竟是不是可行的，但是实际还是要靠人操作的，此外像是这当中的意外是特别多的，很多时候连阳神AI都没办法解决。
这就要依靠陈阳他们了。
光源系统出来了，但是这并非意味着一帆风顺，还有着投影系统，载片台（晶圆台），对准系统，控制系统等一一系列问题需要解决。
像是世界上顶尖的超高精度机床对于加工误差要控制在0.005mm以下，但是光刻机的加工比起这些超高精度机床还要高三个数量级，也就是还要高一千倍以上。
每一个都是难点，要想办法绕过去或者直接解决这些困难。
时间来到了第二年的六月。
“终于将这一个光刻机的原型机制造出来了，接下来就是验证和生产了。”陈阳看着各种线路和机械结构裸露在外的光刻机。
在接下来的一个月当中，先是将这一个光刻机安装上外壳，安装到超净车间当中，进入到当中的每一个人都需要穿戴好专门的服装和相关的物品。
毕竟你皮肤上掉落的一个皮屑如果出现在晶圆当中，那么这一个晶圆就没办法用了。像是一片最为便宜的晶圆都要好几千的，如果是十二寸的晶圆，价格高达数万块。
如果在超净车间以外的任何一个地方打开，空气中的灰尘就会直接附着到上面，这一块晶圆就废了。
从高纯度的多晶硅中生长出单晶硅锭，然后通过切割和抛光步骤制备出平整的晶圆。再到经历氧化和钝化，光刻，蚀刻，掺杂，离子气相沉积，平坦化处理，金属化，经过各种工艺的，才终于能够将沙子制备成一块芯片。
流片一次也是需要上千万的资金，最为重要的便是掩模版不便宜，他是芯片加工不可或缺的一部分。
设计出的芯片想要加工必须要制备专门的掩模版，一块掩模版就高达数百万，如果芯片失败，这一块掩模版就直接废了。
陈阳的注视下，一块晶圆经过各种加工程序，最后得到了芯片，工作人员将芯片放到专门的仪器当中测试起来。
良品率百分之五十。
得知了良品率达到了百分之五十，陈阳整个人感觉都舒坦了不少。
芯片制造跟很多的加工并不一样，像是那些机床加工出来的产品，良品率低于百分之九十五，厂长可能将你的头打爆啊！
富士康在龙国代工生产苹果，良品率高达百分之九十八，在阿三国的加工厂当中只有百分之五十。纯纯的赔钱货。
芯片的初次制造有良品，而且是高达百分之五十，那就意味着这一个芯片设计没问题，光刻机也没有问题。良品率后面慢慢改进就好了。
而且首次加工良品率就高达百分之五十，恰恰能证明这一台光刻机的优秀，哪怕台积电首次加工很多芯片，良品率也只是百分之三十而已，后面不断改进从而使得良品率提高。
一般来说百分之六十是及格线，七十是赚小钱，八十是赚大钱，九十就是暴利，至于百分之百是不可能的。
这一台光刻机经过多次曝光，可以达到5nm的加工工艺，相比于米国和蛙岛台积电的3nm工艺有一定差距，但是差距可不大。
龙科院的院长夏源双手紧握陈阳的双手，涕泪横流：“咱们终于突破了，全靠有你，我们在这方面终于赶上了米国的脚步。”
陈阳：“我也没想到，最初过来这边是打算寻求合作的，没想到能帮上忙。”
当中阳神AI的辅助和陈阳本身科研能力使得不少人直接佩服，最让人值得向往的是陈阳和阳神在材料学上的天赋，对于陈阳来说，似乎能够根据所需要的要求而开发新材料，这些新材料能够满足相关的性能。
陈阳似乎是一个造物主一般，可以肆意的操纵原子和分子，令他们组合在一起，随后得到一种全新的材料。
陈阳最初是听到龙科院这边实现了龙国的光刻机生产，过来这边想要寻求合作的。
但是后面却参与到了光刻机的研发当中。
陈阳：“不知道龙科院这边有没有出售光刻机的打算或者是授权光刻机专利的打算。我打算用我们龙国自己制造的光刻机生产我们的芯片。”
夏源：“光刻机的研究过程，你以及带来的团队帮助了我们不少，这一台光刻机当中可是有着你一半的贡献啊！这说的什么话？”
夏源这句话说的不假，因为当中的光源系统和曝光流程的专利都在陈阳手中，陈阳也只是免费授权给他们而已。
谁也不欠谁的。
经过了一番商议 ，陈阳这边投资千亿和陈阳的专利折算两百五十亿，魔都微电投资一百亿和专利折算的一百亿，龙科院专利折算五百亿，以及国资委出资五百亿共同打造光刻机生产线和晶圆加工厂。
龙科院的专利多，陈阳的专利重要，陈阳的专利折算价并不低，但是陈阳降低专利的折算价来换取这一家公司的主导权。
静悄悄的，一家名为巅峰的公司悄悄成立。
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