威廉姆斯的演讲刚结束,史密斯就举手提问:"博士,您提到中微在等离子体控制算法上有独特创新,这与ASML的技术路线有何本质区别?"
会场瞬间安静。李一凡知道,这是美国调查组精心准备的陷阱。如果威廉姆斯说技术完全不同,就等于否定自己在ASML的研究成果；如果承认有相似之处,又会被质疑技术转移。
但李一凡早有准备。昨晚他专门找威廉姆斯沟通过,现在看着对方从容不迫的样子,他知道这个老牌工程师已经完全理解了自己的意图。
"很好的问题。"威廉姆斯走到投影屏幕前,调出一张复杂的技术路线图,"让我用这张图来解释。ASML在等离子体控制上采用的是经典的PID控制理论,这在90年代就已经成熟。但中微另辟蹊径,开创了基于机器学习的自适应控制系统。"
他快速在白板上写下一串数学公式:"这是传统PID控制的局限,而这个..."他又写下一个更复杂的方程,"是中微的创新突破。从数学本质上看,两者是完全不同的技术路径。"
台下的调查组专家们交头接耳,细细研究那些方程。李一凡注意到,技术专家詹姆斯的表情有了明显变化。
"更重要的是,"威廉姆斯继续说道,"这种自适应算法让14nm刻蚀机在精度和稳定性上实现了质的飞跃。去年在台积电的测试数据可以证明这一点。"
他投影出一组对比数据,精确到小数点后六位。这些都是真实的测试结果,每一个数字都经得起推敲。
"史密斯先生,"威廉姆斯直视着提问者,"我在ASML工作时就提出过类似的创新设想,但并未被采纳。而在中微,我看到了将这种突破性理念转化为现实的可能。这正是我选择加入的原因。"
史密斯还想继续追问,这时一个意外的声音打断了他。
"我来补充几句。"德国西门子半导体前总裁汉斯·克劳斯站了起来,"作为第三方,我可以证明中微的技术路线确实具有独创性。事实上,我们最新的光刻胶配方就是专门针对这种创新算法开发的。这种配合才创造了纳米级的精确控制。"
李一凡嘴角微扬。这正是他昨天和克劳斯密谈的成果。有了这位德国权威的背书,调查组的质疑就更难立足了。
但真正的杀手锏还在后面。日本东芝研究院院长山本浩二拿起话筒:"我注意到中微在专利申请上的一个细节。他们最早的等离子体控制专利是在2008年提交的,那时威廉姆斯博士还在ASML。这证明他们的技术创新是完全独立的。"
会场响起一阵议论声。这个时间点太关键了。李一凡平静地看着史密斯,后者的脸色变得有些难看。显然,调查组之前并未注意到这个细节。
"李书记,"陈松年副省长低声说,"高明啊!让国际权威来佐证,比我们自己辩解更有力。"
李一凡微微一笑。他知道,这场较量才刚刚开始。仅仅证明技术来源的合法性还不够,更要让美方意识到,打压中微对整个产业链都没有好处。
这时,韩国三星半导体的代表突然举手:"我们已经完成了对中微14nm刻蚀机的测试评估。基于结果,我们准备追加30台订单。如果贸易限制影响到供货,将严重干扰我们的产能规划。"
三星半导体代表的发言让会场气氛骤然紧张。这已经不仅仅是技术问题，而是涉及全球半导体产业链的稳定。李一凡注意到史密斯正在与调查组其他成员交换眼色。
就在这时，台积电的代表也站了起来："我们在去年四季度的测试中发现，中微的刻蚀机在特定工艺环节上，性能甚至优于现有设备。基于这个结果，我们已经决定追加20台订单。"
"容我补充一点。"德国默克亚太区总裁施耐德接过话题，"我们正在和星城谈判50亿投资的光刻胶项目。这个项目是专门针对中微的刻蚀机定制的。如果贸易限制影响到合作，我们的投资计划也要重新评估。"
李一凡暗自点头。这就是他昨晚密集走访各大企业代表的成果。让这些国际巨头站出来表态，比官方的解释更有说服力。
史密斯的表情越发凝重。显然，他没想到一家中国企业已经在全球半导体产业链中占据了如此重要的位置。
这时，日本信越化学的高级副总裁藤田走上讲台："请允许我放一组数据。"投影屏幕上出现一张详细的产业链图谱，"在14nm制程中，中微的刻蚀机与我们的硅片、德国默克的光刻胶已经形成了完美的协同。这种产业链的默契配合极其宝贵，一旦被打破，重建需要巨大的时间和资金成本。"
会场安静下来。所有人都在消化这个信息。一个清晰的事实浮出水面：中微已经不是一家可以随意打压的企业，而是全球半导体产业链中的关键一环。
"李书记。"省工信厅副厅长钱雪峰在旁边低声说，"调查组的态度明显软化了。"
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