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第二百八十章 小型光刻机

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“只能作三英寸的。”白云天很是遗憾地摊摊手。

芯片内部晶片尺寸大约有拇指盖大小,考虑到晶元是圆形,边缘部分没有足够空间来放置晶片,所以每块晶元都不能得到百分之百完全利用。

这还要受到晶元制备技术的影响,现在的技术,制备出来的晶元,越靠近边缘,缺陷越严重。国际通行的晶圆制备,可利用面积只有百分之七十左右。

由此可知,一块三英寸晶元哪怕光刻成功率百分之百,也就能切割出不到一百块晶片。

只有八英寸光刻机晶片数的九分之一!

可见差距之大。

这种小型的光刻机,多是放在实验室,进行小规模制备,验证研究人员的设计思路,绝对没有谁会疯狂到用它来进行工业化生产。

“这么小啊……”方佩玲仓促间,也算不出能切割出多少可用晶片,但直观就感觉小好多,有些沮丧,“那个制备的线宽是多少呢?”

“零点五微米!”白云天简短答道。

“什么?”

方佩玲像是被针刺了一下,猛然从座位上弹起来,一脸的不能置信,小心翼翼地望着白云天,握着拳头紧张道:“白总,你该不是又在开玩笑吧?”

她可是看过简报,英特尔最新的制程也就零点五微米,难道他们第一次制造的光刻设备,就能达到英特尔的水平?

这怎么可能!

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