石墨烯的消息在万象内部传开那天,南山研发中心的安保等级悄悄升了一级。
大门外新增了两道人脸识别闸机,原本可以刷卡进入的侧门全天关闭。每个进入六楼新材料实验室的人,都要经过三层验证——人脸、工牌、指纹,缺一不可。电梯里的刷卡器换了新的,普通员工的卡刷不到五楼以上。
李耀宗站在研发中心门口,看着那些排队通过闸机的研究员。
陈锋在旁边说。
“李总,消息传得太快。昨天一天,我接到七个猎头电话,都是来挖人的。”
李耀宗点点头。
“该保的保,该藏的藏。核心数据,只有项目组的人能看。”
陈锋点头。
“已经在做了。”
两人走进电梯,陈锋刷了卡,按下六楼。
电梯门开,是一条长长的走廊。走廊尽头有两道门,一道通向新材料实验室,一道通向另一个地方。
李耀宗看了一眼那道门。
“那边是什么?”
陈锋笑了笑。
“您跟我来。”
他刷开那道门,里面是一条向下的楼梯。
走了三层,推开一扇厚重的隔音门,眼前豁然开朗。
这是一个占地两千平米的地下车间。头顶是密集的管线,脚下是防静电地板。
几十台大小不一的设备整齐排列,最中央那台机器被透明防护罩罩着,几名工程师正在调试。
李耀宗站在门口,愣了一下。
“这是什么时候建的?”
陈锋说。
“十年前。光刻机和数控机床的项目,需要保密。地上不方便,就挖到了地下。”
一个五十多岁的男人走过来,穿着白色工作服,手里拿着一份检测报告。
“李总,陈总。”
陈锋介绍。
“这位是宋工,光刻机项目的负责人。从上海微电子挖来的,干了三十五年。”
李耀宗握住他的手。
“辛苦了。”
宋工摇摇头。
“不辛苦。干了一辈子,总算看到点成果了。”
他带着李耀宗走到那台被透明罩罩着的机器前。
那是一台巨大的设备,有两层楼高,密密麻麻的管线像血管一样分布。机器的核心部分被遮住,只露出一个观察窗。
“这是咱们的第一台浸没式光刻机。”
宋工的声音有点激动,“二十八纳米分辨率,套刻精度三纳米。和荷兰ASML的同类产品比,差一代,但能用了。”
李耀宗看着那台机器。
“能量产吗?”
宋工点头。
“能。良率百分之七十五,还在往上提。”
李耀宗沉默了几秒。
“以后不用靠进口了,被卡脖子?”
宋工笑了。
“不用了。”
从光刻机车间出来,陈锋带着李耀宗穿过一道防火门,进入另一个区域。
这里的设备小一些,但数量更多。几十台机床整齐排列,有的正在运转,发出低沉而稳定的嗡鸣声。
一个四十多岁的女人迎上来。
“李总,陈总。”
陈锋介绍。
“这位是唐总,数控机床项目的负责人。原大连机床厂的总工,被咱们挖来的。”
唐总说话干脆利落。
“李总,这边请。”
她走到一台最大的机床前,拍了拍那银灰色的机身。
“这是咱们的六轴五联动数控机床,代号‘天工一号’。”
李耀宗看着那台机器。它的结构比普通机床复杂得多,多个轴臂像蜘蛛的腿一样分布,中央的主轴闪着冷光。
“能做什么?”
唐总指着旁边一个加工好的零件。
“这个,航空发动机的涡轮叶片。五轴机床要八个小时,咱们这台,三个半小时。”
李耀宗拿起那个叶片。
很轻,但很硬。表面光滑得像镜子,一点毛刺都没有。
唐总带着李耀宗走到一块白板前,上面画着复杂的技术图。
“六轴机床的核心,是运动控制。”
她用笔指着图上的几个点。
“第一,六轴联动插补。X、Y、Z三个直线轴,加上A、B、C三个回转轴,要同步运动,不能有顿挫。咱们的控制系统是自己写的,插补精度零点一微米。”
李耀宗看着那张图。
“比国外怎么样?”
唐总想了想。
“和西门子最顶级的系统比,还差一点。但比发那科的中端系统强。”
她继续往下讲。
“第二,伺服驱动。电机是高响应绝对值的,配光栅尺,定位精度零点五微米。低速不爬行,高速不过冲。”
“第三,误差补偿。几何误差、热变形、受力变形,都要补偿。咱们用激光干涉仪测了一百多个点,把误差数据写进系统,实时修正。”
她指了指那台正在运转的机床。
“加工的时候,探头在线测量。检测到尺寸不对,自动调整刀路。这叫闭环加工。”
李耀宗走到那台机床前,透过观察窗看里面的加工过程。
一块钛合金毛坯被固定在转台上,主轴带着刀具高速旋转,六个轴同时运动,刀尖沿着复杂的轨迹移动。切削下来的钛屑细得像头发丝,被冷却液冲走。
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