“没错，计算。”秦念转身，拿起一支笔，在旁边的白板上快速画了起来，“既然我们无法保证一次曝光就完美对准，为什么不能把一次复杂的图形曝光，分解成多次简单的、精度要求较低的曝光来完成呢？”
她画了一个简单的方块矩阵图案：“比如，这个复杂的互连线路，我们可以把它分解成横向线条和纵向线条两组相对简单的图形。先用掩模版A，只曝光所有横向的线条。然后，移动硅片，更换掩模版B，再曝光所有纵向的线条。”
“可是……这样两次曝光之间的对准误差怎么办？”李文军立刻抓住了关键问题，眉头紧锁，“误差累积起来，可能比一次曝光还要糟糕！”
“这就是计算的用武之地。”秦念在白板上写下几个公式，“我们可以在设计掩模版的时候，就预先考虑到可能存在的、在一定范围内的对准误差。通过数学模型，对第二次需要曝光的图形进行‘预畸变’补偿。”
她看着众人疑惑的眼神，用一个更形象的比喻解释：“就像我们射击，知道风会往右边吹，那我们瞄准的时候，就故意往左边偏一点。我们的计算方法，就是那个计算‘风偏’并指导我们如何‘提前量’的‘神枪手系统’。”
“当然，实际过程比这复杂得多。”秦念继续道，“我们需要建立精密的对准误差模型，设计复杂图形自动拆分和预畸变补偿的计算程序，甚至在曝光后，还可以通过理论分析，对采集到的、存在微小瑕疵的电路图形数据进行后期校正，弥补物理制造的不足。”
这个思路，石破天惊！完全跳出了当时主流的光刻技术范式！
用计算和数学的“软”实力，去弥补硬件设备的“硬”伤！
车间里一片寂静，所有人都被这个大胆到近乎疯狂的想法震慑住了。用数学和计算，去对抗精密机械的物理极限？这……这真的可行吗？
李文军最先从震惊中反应过来，他毕竟是搞电路和理论的，对数学不陌生。他仔细咀嚼着秦念的话，眼神逐渐亮了起来：“理论上……如果模型足够精确，计算程序足够强大，或许……真的有可能绕过硬件的限制！但这计算量……”
张海洋则挠着头，他虽然不太懂那些复杂的数学，但他听明白了核心意思——不用死磕机器本身了，换个脑子来解决问题！
他猛地一拍大腿：“俺明白了！就是给这铁疙瘩配个更聪明的‘算盘’！秦工，你说咋干就咋干！需要俺们钳工组做什么？保证把机器稳住，不让它瞎动弹！”
秦念看着重新燃起斗志的团队，嘴角微微上扬。
“硬件组，由海洋负责，确保光刻机基础运行稳定，尽可能减少随机误差。”
“计算和程序部分，”她的目光落在李文军和几位对数学敏感的技术员身上，“文军，你牵头，我们一起来攻克。我们没有先进的计算机，就用所里那台老掉牙的109丙机，用纸带输入，就算熬通宵，也要把第一个版本的图形拆分和预畸变补偿程序搞出来！”
“是！”李文军感到一股久违的、挑战未知的兴奋感涌上心头。
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